İNCE FİLM BÜYÜTÜLMESİ İÇİN HALOJEN ALTTAŞ ISITICISI GELİŞTİRİLMESİ
Proje no. 450 · Durum: Kapanmış · 2017
Özet
Bu tez çalışmasında, in-situ ince film üretim sistemlerinde kullanılabilecek ve reaktif gaz ortamında çalışabilecek yüksek performanslı bir alttaş ısıtıcısı geliştirilmiştir. YBCO ince film üretiminin, genel olarak ince film üretimi için kullanılan parametrelere kıyasla daha agresif koşullar gerektirmesi nedeniyle, YBCO ince filmler bu ısıtıcının hedef malzemesi olarak seçilmiştir. Bu kapsamda, öncelikli olarak ticari alttaş ısıtıcıları incelenmiş, bu ısıtıcılarının süperiletken YBCO ince filmler gibi zorlu üretim parametreleri gerektiren in-situ ince film büyütülmesi süreçlerindeki problemleri belirlenmiş ve bu problemlere çözümler sunulmuştur. Üretilebilirlik ve üretim maliyetleri de göz önünde bulundurularak, halojen ışık kaynaklı, kompakt, uzun ömürlü ve yüksek performanslı bir alttaş ısıtıcısı tasarlanmış ve üretilmiştir. Üretilen alttaş ısıtıcısı hava atmosferinde, ultra-yüksek vakumda, Argon ve Oksijen gazları akışında, Oksijen atmosferinde ve YBCO ince film büyütülmesi sürecinde test edilmiştir. Test sonuçlarından elde edilen veriler ışığında, bu tez çalışması kapsamında geliştirilen alttaş ısıtıcısının ultra-yüksek vakum ve oksijen uyumlu, herhangi bir parçacık salınımı yapmayan, uzun ömürlü, kontrollü ısıtılıp soğutulabilen ve istenilen sıcaklıklarda istikrarlı olarak çalışmaya elverişli bir sistem olduğu gösterilmiştir. Sonuç olarak; bu tez çalışmasında geliştirilen halojen alttaş ısıtıcısının, süperiletken YBCO ince filmler dahil yüksek sıcaklık ve yüksek performans gerektiren tüm oksit kristal ince film üretim süreçlerinde güvenle kullanılabilir, profesyonel bir sistem elemanı olduğu gösterilmiştir.